離子束 製程技術 簡介
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7. 簡易說明計畫開發之In-Line. 40.68Hz VHF PECVD 設備與目前市場.雙束型聚焦離子束顯微鏡之3D建構技術(Dual-Beam Focused Ion ...成大微奈米中心於11月5日舉行《半導體先進製程與檢測技術論壇》敬邀蒞臨指導 ... 本中心的雙束型聚焦離子束顯微鏡(Dual-Beam Focused Ion Beam, DB-FIB)為FEI Helios ... | [DOC] 其他(國際會議)) 參加2009年國際微製程與奈米材料研討會心得報告本次研討會主題分類如後,第一章:微影製程及量測技術Lithography and Metrology-深紫外光(DUV)、真空紫外光(VUV)、極短紫外光(EUV)微影製程及量測技、電子及離子束微 ...圖片全部顯示
延伸文章資訊
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A: 離子束濺鍍法係在高真空中利用獨立之離子源發射離子束濺射靶材,將靶材上的原子一顆一顆敲出飛越真空並有力的沈積在基板上,成為薄膜的一種鍍膜方法。
- 5薄膜製程
薄膜製鍍. ▫ CVD. ▫ PVD. ▫ 熱蒸鍍. ▫ 電子槍蒸鍍. ▫ 電子槍蒸鍍. ▫ 濺鍍. ▫ 離子束濺鍍. 2. 薄膜量測. ▫ 光譜儀. ▫ 橢偏儀.